Integreret halvlederteknologi fra ZEISS

Innovativ teknologi med præcisionsoptik

Den forøgede lagerkapacitet i processorer og mikrochips, påvirker i stigende grad vores liv. Præcision leveres på stadig mindre overflader. Mikrochipfabrikker inden for halvlederindustrien er i høj grad afhængig af kvalitetslinser fra ZEISS til optisk litografi. De udgør selve kernen i fremstillingen af serieproducerede mikrochips.

Integreret halvlederteknologi fra ZEISS

Billede af en litografisk linse, som reflekterer ansigtet fra en medarbejder fra Carl Zeiss

Hvis man ser tilbage med den viden man har i dag, var præcisionsoptikken allerede på det tidspunkt, hvor Carl Zeiss og Ernst Abbé grundlagde firmaet, en central teknologi.

 

Grænserne for the teknisk mulige i grundforskningen er gradvist blevet rykket. For at holde trit med udvilingen var det også nødvendigt at videreudvikle produktionsmetoderne for de optiske instrumenter. Carl Zeiss var førende inden for området, dengang som nu.

 

Det stigende behov for at lagre mere information på stadig mindre medier og behovet for hurtigere dataoverførsel, får den mikroelektroniske industri til at anvende stadig mere komprimerede elektroniske komponenter med mindre og mindre strukturer.

 

Mikrochips indeholder strukturer på ned til ca. 100 nm (= en tiendedel af en mikrometer), og der er ingen tegn på at denne udvikling stopper. Inden for serieproduktion af mikrochips, en proces som først blev mulig ved hjælpe af ZEISS' optiske systemer, er det meget vigtigt, at specielt kvalitets- og proceskontrollen kan holde trit med denne udvikling.

Kontrol er vigtig ...

Når der indsniger sig fejl i belysningen af de såkaldte fotolitografiske masker, overføres disse til mikrochippene i serieproduktionen, og det betyder naturligvis masser af fejlbehæftede funktioner. Det er ikke svært at forestille sig, hvad det betyder for produktiviteten og omkostningerne, når fejlen ikke bliver opdaget før tusindvis af ubrugelige mikrochips er blevet produceret.

Muligheden for at opdage og eliminere fejl på et tidligt tidspunkt er derfor altafgørende. Jo mindre og kraftigere mikrochippen er, desto vigtigere er det at kunne kontrollere de litografiske masker, før disse overføres til mikrochip serieproduktionen. Dette sker med topkvalitets linser.

På dette website bruger vi cookies. Cookies er små tekstfiler, som gemmes på din computer, når du besøger et website. Det er meget almindeligt at bruge cookies. Vi bruger dem som en hjælp til at forbedre vores websider og optimere visningen af dem. Ved at bruge vores websider erklærer du dig indforstået med dette.
OK